Composants de carbure de silicium de haute précision pour les processus de semi-conducteur et l'équipement optique de machines

Applications typiques

• À la fabrication de semi-conducteur, des gaufrettes extrêmement minces sont placées sur des surgeons de vide de carbure de silicium, reliés à un générateur de vide, et les gaufrettes sont fixées par aspiration de vide.

• Utilisé en lithographie, gravure à l'eau-forte, laser traitant, essai de gaufrette et d'autres processus.

Caractéristiques et avantages

• Taille précise et stabilité thermique

• Bonne conduction thermique, bas coefficient d'expansion et uniformité de la température

• Extrêmement haut la résistance à l'usure et la finition de surface, taille fine de pore et distribution d'uniforme, peut être uniformément adsorbée à tous les secteurs de la gaufrette

• Excellente résistance à la corrosion d'acide et d'alcali

• Résistance à l'impact de plasma

Caractéristiques

• Peut être adapté aux besoins du client selon le traitement de dessins de client.